|
对位速度(每片)
|
4.2秒
|
|||
|
每小时产能
|
理论
|
800片
|
||
|
实际
|
650-700片
|
|||
|
对位精度
|
3μm内(最小Pitch 12 μm)
|
|||
|
上料方式
|
手动单片取放
|
|||
|
IC盘数量
|
2寸4个
3寸2个
4寸1个
|
|||
|
控制
系统
|
图像处理
|
日本“法视特”最高版本图像处理器(5个模版)
|
||
|
PLC
|
日本“基恩士”(高速.高抗干扰能力)
|
|||
|
对位
平台
|
X轴
|
伺服马达加高精度导轨及丝杆(THK)
|
||
|
Y轴
|
||||
|
◎轴
|
日本“喜开理”高精度直驱马达
|
|||
|
|
|
|||
|
设备市场使用量
|
大 (已被大量客户长期使用)
|
|||
|
售后服务
|
7X24小时模式
|
|||